ゲッターポンプ(NEGポンプ)

	特性と用途
	ゲッターポンプ(NEGポンプ)は、粒子狀の非蒸散ゲッターを高溫で焼結(jié)して組み立てる真空デバイスであり、真空環(huán)境で殘留ガスを大量に除去し、高い真空度を得るために適用します。主に超高真空または極限真空を必要とする検査裝置または実験裝置に使用されます。 活性化されると、エネルギー入力なしで稼働し、振動(dòng)や磁場(chǎng)に厳しい要件となる場(chǎng)合特に適用しています。 水素などの活性ガスに対して大きな吸引速度を有し、超高真空下では低下しない。
	特徴及び関連データ
	製品タイプ ポンプ中身長(zhǎng)さ（mm） ゲッターの重さ （g） フランジサイズ 活性化パワー （W） 活性化溫度 （℃） 再生可能回?cái)?shù) NP-TMKZ-100 62 18 CF35 25 450 ≥100 NP-TMKZ-200 88 35 CF35 45 450 ≥100 NP-TMKZ-400 135 70 CF35 85 450 ≥100 NP-TMKZ-1000 142 180 CF63 220 450 ≥100 NP-TMKZ-1600 145 420 CF100/CF150 450 450 ≥100 NP-TMKZ-2000 195 630 CF100/CF150 680 450 ≥100
	製品タイプ   吸気効率(l/s)     トータル吸気量　(Torr l) H2 H2O N2 CO H2 H2O N2 CO NP-TMKZ-100 100 75 25 45 600 5 0.175 0.35 NP-TMKZ-200 200 145 45 90 1160 10 0.35 0.7 NP-TMKZ-400 400 290 95 180 1920 20 0.7 1.4 NP-TMKZ-1000 800 580 185 360 5600 50 1.7 3.5 NP-TMKZ-1600 1600 1160 370 720 11520 120 4 8 NP-TMKZ-2000 2000 1450 450 900 17280 180 6 12
	建議用戶采用恒流電源對(duì)本吸氣劑泵進(jìn)行通電加熱激活。推薦的激活條件：通電激活450℃維持45min，激活全過程中系統(tǒng)真空度需優(yōu)于0.01Pa。適當(dāng)延長(zhǎng)時(shí)間將有利于吸氣劑泵的充分激活。如不能達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)激活溫度，則必須延長(zhǎng)激活時(shí)間來補(bǔ)償。必須保證激活過程真空腔體的真空度，如真空度過低會(huì)出現(xiàn)熱絲腐蝕、加熱子濺射、吸氣材料污染、激活溫度異常等不良情況。 吸氣劑泵在激活過程中會(huì)釋放一定量的氣體，為保證吸氣劑泵激活過程中的真空度。我們建議吸氣劑泵應(yīng)在動(dòng)態(tài)真空下激活，激活過程中從1.5A電流開始緩慢逐步提高，直至達(dá)到預(yù)定電流值，須避免吸氣劑泵溫度急劇變化導(dǎo)致的放氣過快、電參數(shù)變化等情況。
	推奨する活性化條件
	このゲッターポンプは、定電流電源を使用して通電加熱活性化することをお?jiǎng)幛幛筏蓼埂?推奨活性化條件:通電活性化450℃の場(chǎng)合、45minを維持し、活性化プロセス全體でシステム真空度は0.01Paよりも優(yōu)れている必要があります。 適切な時(shí)間を延長(zhǎng)すれば、ゲッターポンプの完全活性化に有益である。 標(biāo)準(zhǔn)活性化溫度に達(dá)しない場(chǎng)合は、時(shí)間を延長(zhǎng)して補(bǔ)正する必要があります。 活性化プロセス中、真空チャンバの真空度を満足必要がある、もし真空度が低すぎると、ワイヤを腐食し、材料を汚染し、活性化溫度異常など不良が発生する恐れがあります。 ゲッターポンプは活性化中に一定量のガスを放出します、その過程中に真空を確保するために、ゲッターポンプは動(dòng)的真空下で活性化することをお?jiǎng)幛幛筏蓼??；钚曰肖?.5Aの電流から所定の電流値に達(dá)するまで徐々に上昇し始め、ゲッターポンプの溫度の急激な変化による過速な排気、電気パラメータの変化などを避ける必要があります。
	注意事項(xiàng)：
	●ゲッターポンプのハウジングとフランジは、稼働する時(shí)に高い溫度を有し、火傷を防ぐために注意を払う。 ●ゲッターポンプが高溫の場(chǎng)合、汚染、消耗故障を避けるために真空狀態(tài)を維持して下さい。 ●電源を接続するときは、電源とフランジ電極がしっかりと接続されていることを確認(rèn)し、他の部品との絶縁に注意してください。 ●加熱活性化する前に、システムが要件を満たす真空狀態(tài)にあることを確認(rèn)してください。 ●特殊なケースでは、ゲッターポンプがC、N、Oなどのガスに対して高い吸気速度を持つように、稼働溫度を200℃～250℃の範(fàn)囲(通電3A)に維持することができ、このとき、ゲッターポンプが達(dá)成できる限界真空度が低下します。